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振动加速度传感器

一 简介   CYY-JSD加速度传感器是西安德威科仪表公司自行研制,用于测量加速度的传感器。它采用进口高精度MEMS芯片,具有BIMOS信号限制电路。设计考虑多用户的需求,制造采用表贴工艺技术。具有高可靠性和高封装坚固性,并具有自检测功能,可实现(Built-In-Test)检测。

本产品可用于汽车测控、惯性导航、飞行器安全系统、地震监控、倾斜、速度和位置的惯性、振动和冲击试验台加速度的测量等系统中。

二 原理

CYY-JSD系列振动加速度传感器是建造在硅晶片顶部的表面MEMS多硅结构。多晶硅簧片悬浮在晶片表面的结构,并提供一个克服加速度感应力的阻力。用包含两个独立的固定板和一个与运动质块相连的中央板形成的差动电容器机构来测量比例于加速度的多硅结构的偏转,从而产生电压输出信号。

三 技术条件

型号

CYY-JSD01

CYY-JSD02                    CYY-JSD03

轴数

双                                   三

供电要求

供电电压(V.dc)

5±5%

5±5%

输入电流(mA)

2

2

性能参数

测量范围(g)

±5

±10

零g偏置电压(V)

+2.5±0.1

+2.5±0.1注②

输出灵敏度(mV/g)

250

100

偏置温漂(g)

50mv

2.0

非线性度(%FS)

0.2

0.2

分辨力(g)

2×10-3

5×10-3

带宽(KHZ,max)

10

5

噪声密度(g/)

225

500

自检测(Self-Test)

ST输入电压(V)

+5

+5

输出响应(V,敏感轴向)

2.6~3.0

2.1∽2.7

启动时间(ms)

0.7

2

工作环境

使用温度(℃)

-40~+85注③

-40~+85

耐加速度

任意轴,不供电,0.5ms(g)

1000

1000

任意轴,供电,0.5ms(g)

500

500

重量体积

重量(g)

﹤35

体积

28×28×16(指单双轴)

24X25X36mm  三轴

1——表示是单轴;2——表示是双轴。单轴振动加速度传感器可选±5g、±25g、±50g、±100g;双轴振动加速度传感器可选用±2g、±10g、±50g。

②指无外界加速度时,输出电压标准值,该值在确定的环境条件下应是确定值。

0℃ ~ +70℃.

CYY-JSD03三轴振动加速度传感器由本公司自行研制,用于测量三轴振动加速度的传感器,三轴中的每一轴振动加速度传感器均采用MEMS芯片,具有高性能、低价位、高可靠性和高封装坚固性,并具备自检测(Self-Test)功能,可实现BIT(Built-In-Test)。可用于汽车测控、惯性导航、地震监控、医疗器械、倾斜、速度和位置的测量、振动和冲击试验台加速度的测量等系统。

三.性能指标

序号

性能

x

y

z

1

测量范围(g)注①

±5

±5

±5

2

零g偏置电压(V)

2.5±0.1

2.5±0.1

2.5±0.1

3

灵敏度(mv/g)

300±50

300±50

300±50

4

非线性 (%FS)

≤0.2

≤0.2

≤0.2

5

分辨率 (mg)

≤6

≤6

≤6

6

交叉耦合

<5%

<5%

<5%

7

自检测功能

ST输入电压(V)

+5

+5

输出响应(V,敏感轴向)

②5

③5

④5

8

噪声密度(ug/)

150

150

150

9

启动时间(ms)

≤20

10

带宽 ( Hz)

0~1000

0~1000

0~1000

11

工作环境

使用温度(℃)

-40~+85

储存温度(℃)

-65~+150

耐加速度(g,0.5ms)

10000

12

重量(g)

<40

引线色别

金属网

信号名称

+5V

壳体地

X轴αX

Y轴αY

Z轴αZ

40X40X30mm

CYY-JSD03三轴振动加速度传感器由本公司自行研制,用于测量三轴振动加速度的传感器,三轴中的每一轴振动加速度传感器均采用MEMS芯片,具有高性能、低价位、高可靠性和高封装坚固性,并具备自检测(Self-Test)功能,可实现BIT(Built-In-Test)。可用于汽车测控、惯性导航、地震监控、医疗器械、倾斜、速度和位置的测量、振动和冲击试验台加速度的测量等系统。

三.性能指标

序号

性能

x

y

z

1

测量范围(g)注①

±5

±5

±5

2

零g偏置电压(V)

2.5±0.1

2.5±0.1

2.5±0.1

3

灵敏度(mv/g)

300±50

300±50

300±50

4

非线性 (%FS)

≤0.2

≤0.2

≤0.2

5

分辨率 (mg)

≤6

≤6

≤6

6

交叉耦合

<5%

<5%

<5%

7

自检测功能

ST输入电压(V)

+5

+5

输出响应(V,敏感轴向)

②5

③5

④5

8

噪声密度(ug/)

150

150

150

9

启动时间(ms)

≤20

10

带宽 ( Hz)

0~1000

0~1000

0~1000

11

工作环境

使用温度(℃)

-40~+85

储存温度(℃)

-65~+150

耐加速度(g,0.5ms)

10000

12

重量(g)

<40

引线色别

金属网

信号名称

+5V

壳体地

X轴αX

Y轴αY

Z轴αZ

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